Для цитирования:

Нусупов К.Х., Бейсенханов Н.Б., Бакранова Д.И., Кейнбай С., Султан А.А. ИК-СПЕКТРОСКОПИЯ ТОЛСТОЙ ПЛЕНКИ КАРБИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННОЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Вестник Казахстанско-Британского технического университета. 2019;16(4):79-86.

For citation:

Nussupov K.Kh., Beisenkhanov N.B., Bakranova D.I., Keiinbay S., Sultan A.A. IR SPECTROSCOPY OF A THICK SILICON CARBIDE FILM OBTAINED BY THE MAGNETRON SPUTTERING. Herald of the Kazakh-British Technical University. 2019;16(4):79-86. (In Russ.)